中新网上海新闻11月26日电(许婧)上海交通大学先进电子资料与器材渠道(以下简称“AEMD渠道”)26日迎来十周年庆，一起渠道正式敞开二、三期运转。

  AEMD渠道创建于2012年，方针是树立一个服务于全校的微纳加工工艺试验渠道，并面向校外科研院所和企业敞开同享。一期净化工程于2014年建成并于同年11月正式向校内外用户敞开服务，其时建造的工艺线为具有纳米尺度图形化才能的6英寸无源微纳结构与器材加工的科研试验线，工艺才能包含光刻、薄膜、刻蚀、热工艺等全链式微纳加工工艺。十年来渠道为上海交通大学多学科开展和穿插交融做出了突出贡献，一起渠道面向国家需求，活跃对接校外科研院所和科技公司的项目需求，助推科研项目根底与应用研讨进程，促进工业要害技能立异与打破。

  面向国家严重需求，服务校园双一流建造，渠道聚集微纳技能学科前沿，打破学科壁垒，强化穿插交融，打破要害核心技能，培育国家急需人才。继2014年AEMD一期西区试验室正式敞开运转后，在校园及电院支撑下，追加逾3亿元投入渠道二、三期建造，建成1200余平米、洁净度从十级到千级规范的东区超净间。现全体具有近 1800 平米东、西区两个净化试验室，6、8英寸先进微纳加工试验线各一条，具有多层级光刻图形化、薄膜成长与堆积、干法刻蚀、湿法清洗与刻蚀、先进封装、表征与测验等完善的微纳加工与测验才能，新增全自动深紫外步进式光刻机、离子注入机、分子束外延、激光诱导玻璃刻蚀、晶圆键合等先进的微纳加工与封装设备，有用增强了渠道在有源电/光器材、MEMS、先进三维封装等范畴的科研服务支撑才能。

  中国科学院院士、深圳大校园长、曾任AEMD渠道一期、二期项目负责人毛军发特别发来恭喜视频，高度肯定渠道建造效果，寄语渠道坚持面向国家严重需求，厚实堆集，助推要害技能打破。

  近年来，跟着万物互联、人工智能等技能的快速的提高，对微纳技能也提出了更高的要求， AEMD在一期科研条件的支撑下，在新式光电器材、MEMS器材等方面提早布局，支撑校内外科研团队在相关范畴完成打破，获得了丰盛的效果。在此根底上，面向国家严重需求，服务交大双一流建造方针，AEMD二、三期又针对有源电/光器材、MEMS、异质异构先进封装等方面做前瞻布局，以期将交大微纳科学根底与应用研讨才能提高到更高水平。

  AEMD渠道首任主任、长江学者苏翼凯教授表明，十余年前，AEMD渠道在交大相关学科开展急需微纳加工试验工艺渠道的布景下应运而生，以服务电子、物理、资料、化工等多学科的原创性和高水平科研为方针一路开展至今，在光电通讯、MEMS、封装等范畴已获得了明显效果。欲有向上破竹之势，需有向下扎根之力，苏翼凯对AEMD渠道十年来获得的效果慨叹至深，表明其时立项时的方针，现已成功完成，这正是一代代渠道人“不忘初心，向下扎根”的精力表现。

  渠道现任主任程秀兰介绍渠道现有工艺才能及未来开展趋势。据悉，渠道新增8英寸级高端微纳加工与测验新设备，将有用增强渠道在有源电子/光学资料与器材、三维异质集成封装、MEMS、微纳光学、先进纳米资料与器材等研讨范畴的支撑服务才能，助推上海交通大学的微纳加工才能从无源器材全方面提高到有源器材加工水平。

  十余年来，AEMD渠道不断精进与立异本身的工艺才能，全力支撑用户科研攻关，获得了很大的前进。为了展现微纳加工范畴的匠人匠心，AEMD渠道于会前特向广阔新老用户搜集科研效果，举行学生用户效果展大赛，并特别设置用户效果展区，要点展现十年间由渠道支撑的代表性用户科研效果，包含新式光电器材、三维集成存储系统、超资料动力器材等顶级范畴。活动现场，与会领导及嘉宾向获奖者颁布荣誉证书，并以此鼓舞渠道用户不断产出高水平科研效果。获奖者表明，渠道不仅是为他们供给技能上的支撑的要害力气，更是科研探究中的重要合作伙伴。

  本次活动汇聚了多家科研院所、有名的公司、范畴专家及技能人员参加，部分企业向渠道捐献最新科研仪器设备，助力微纳极点加工技能的打破。(完)